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MF-PO系列壓力烘箱
    發布時間: 2023-06-28 10:37    

MF-PO系列無氧化壓力烘箱設計用來滿足半導體行業集成電路配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可滿足不同產品的品質要求。


用途特點:

本產品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產工藝。用于去除半導體加工、LCD面板、PDP面板、觸摸屏等設備粘接過程中產生的小氣泡的設備。本設備采用壓力和加熱操作,精確的溫度和壓力控制來進行消泡操作,從而增強固化和附著力。

技術特點: 

保證內部流體的流動通過風機,將風機的壓力密封與磁性驅動制動器連接在一起,實現電機驅動轉動,從而保證了壓力室溫度的均勻;

多重壓力保護及安全裝置設計。

過程控制

與配套AUTORECIPE軟件,溫度監控軟件,可實現產品運行參數管理與生產運行記錄,提高了生產效率控制產品品質。

設備特點:

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

提供相應的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

配套完成的產品使用手冊及說明。

  

型號

MF-PO****

1600

1700

2600

2700

循環系統

熱風循環系統

性能參數

溫度范圍

RT. + 25°C ~250°C

壓力范圍

0-16kg/cm2/0-8 kg/cm2

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結構

烘箱外腔體選材

烤漆、不銹鋼

烘箱內腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷

內腔尺寸W *H *D mm

370 *500* 335

490 *560 * 366

370 *500 *335

490*560* 366

外形尺寸W * H *D mm

1430 *2030 * 1650

1600* 2300 * 1750

1420 * 2050 * 1950

1600 * 2300* 1950

容積 (L)

60

90

120

180

使用環境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

烘箱功率

12KVA

12KVA

22KVA

22KVA

 

基本功能配置:

漏電保護器;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

加熱器防干燒保護;

馬達轉速檢測保護;

腔體排氧裝置;

腔體安全泄壓閥;

功能選配:

N2流量檢測;

高低溫聯動檢測;

腔體壓力檢測;

自動排風閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;










服務熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區春麗路1239號國際中小企業產業園   (二期) 3號樓
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