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MF-OV系列無氧烘箱(水平送風)
    發布時間: 2023-06-28 09:55    

MF-OV系列無氧烘箱設備是專門設計用來滿足半導體行業集成電路配套烘箱,它具有先進的設計理念與工藝技術,可滿足不同產品的品質要求。


用途特點:

本產品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產工藝;該設備采用加熱循環方式,進行精確的溫度控制。

技術特點: 

采用水平送風系統的高性能腔體;

烘箱采用雙體式腔設計,內腔采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了設備在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面沾污;

整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現微調;

優異的熱工性能,使加熱性能大大提高;

雙層密封設計,保證更低的能耗,滿足清潔生產的需求。

過程控制:

多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監控軟件,可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產效率、控制產品品質。

設備特點:

堅持工藝優先的設計原則,即先制定最為優化的工藝配置,再確定設備結構和布局,以確保工藝最穩定,材料利用最合理,力求提升設備穩定性和降低運行成本;

本著人性化的設計理念,即在細節上充分考慮現場情況,并不斷完善設計,使現場使用者更加方便地使用,維護本烘箱;

可以提供各種標準和非標準腔設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準;

提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;

提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;

配套完整的產品使用手冊及說明。

   

型號

MF-OV****

1800

2640

2700

4500

循環系統

熱風循環系統

性能參數

溫度范圍

RT. + 25°C ~250°C

溫度波動范圍

0-100℃<±1℃100-200℃<±2℃

溫度均勻性

0-100℃<1℃100-200℃<2℃

升溫時間

< 30Min175℃&  < 40Min200℃

烘箱結構

烘箱外腔體選材

烤漆板、樹脂類板、不銹鋼

烘箱內腔體選材

SUS304鏡面不銹鋼

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

冷卻方式

水冷卻、風冷卻、多段式冷卻

內腔尺寸W *H *D mm

800 *640* 960

640 *640 * 550

700 *640 * 560

500 *640* 500

外形尺寸W * H *D mm

1500 * 900 * 1830

1400* 1050 * 1900

1460 * 1050 * 1900

2340 * 1050 * 1900

容積 (L)

490

450

490

640

使用環境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

動力配置

電源配置

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

AC380V 3PH

烘箱功率

13KVA

20KVA

20KVA

40KVA


基本功能配置:

漏電保護器;

電磁門鎖;

加熱保險絲;

電源缺相保護;

超溫保護器;

低溫保護器;

加熱器防干燒保護;

馬達轉速檢測保護;

UPS;

N2壓力檢測;

N2流量檢測;

水流量檢測;

功能選配:

腔體氧含量在線檢測;

高低溫聯動檢測;

腔體壓力檢測;

自動排風閥;

廢氣沉淀回收裝置;

腔體空燒排污;

腔體內除塵過濾網裝置;










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郵箱:shanghai@mfinetech.com
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